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高純氣體的質(zhì)量檢測(cè)主要依賴(lài)于的分析技術(shù)，如氣相色譜法、質(zhì)譜法、紅外光譜法等。這些方法可以檢測(cè)氣體中的雜質(zhì)含量，從而確定氣體的純度。例如，氣相色譜法可以檢測(cè)氣體中的有機(jī)和無(wú)機(jī)雜質(zhì)，而質(zhì)譜法可以檢測(cè)氣體中的離子和分子。此外，還可以通過(guò)測(cè)量氣體的壓力、溫度、濕度等參數(shù)來(lái)評(píng)估氣體的質(zhì)量。
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